二手 LEYBOLD HERAEUS Syrus 1105 #293819408 待售
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單擊可縮放
ID: 293819408
優質的: 2000
Vacuum coating machine
Ignition counter: 31.220 hours
INFICON XTC/2 Deposition controller
LEYBOLD Pocket EB Gun, sweep controller
(3) Bottom heaters
Diffusion pump, water cooled baffle
POLYCOLD PFC 661 Chiller
(2) Sector plates sets
Step up transformer
Step down transformer
SIEMENS PC/PLC controller
Manuals
Rotary pump, blower
2000 vintage.
LEYBOLD HERAEUS SYRUS 1105是為半導體晶片和光學器件等小型元件的微型化而設計的數字光刻設備。該系統具有先進的控制界面，能夠精確控制曝光參數，從而產生最精細的高分辨率模式。該單元包括一個機動化晶片級，可支撐高達8英寸的晶片，靈敏度高達8級。該級安裝在XYZ平臺上,可以配置為旋轉塗層晶片,以便將光刻膠暴露於所需的圖樣中。板載觸摸屏允許精確輸入參數,並可以調整X、Y和Z軸設置、曝光時間、能量設置和UV能量設置。SYRUS 1105采用了先進的成像機器，以確保精確的曝光時間和圖樣精度。該工具的特點是集成CCD攝像頭，分辨率高達5百萬像素，可用於晶圓的精確定位和圖案化區域的成像。照相機安裝在一個自動的theta軸上，允許成像資產相對於旋轉晶片精確的角度對準。該模型還包括一個可選的激光對準設備，以確保在塗層晶片上精確的模式對準。該系統高度自動化，控制晶片級、曝光時間、能量設置和紫外線能量設置。內置真空單元在曝光過程中牢固地將晶片固定到位，確保晶片和光刻膠之間的壓力接觸一致。最後，機器配備了安全工具，以保護人員和設備。此資產旨在在檢測到突發緊急情況時關閉暴露過程。總體而言,LEYBOLD HERAEUS SYRUS 1105是一種先進的數字光刻膠模型,專為小型元件的精密微圖化而設計。該設備可精確控制曝光參數和自動晶片移動，從而能夠產生最精細的高分辨率圖樣。此外，還建立了保護人員和設備的安全系統。
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