二手 LEYBOLD HERAEUS SYRUS-C 1350 #9228481 待售

LEYBOLD HERAEUS SYRUS-C 1350是一種光刻工藝設備，用於光刻領域。該系統旨在提供光阻性能，以保護半導體和晶圓基板上產生的電路模式。它能夠處理多達13英寸的單步塗層晶片，以及8英寸的4eme和12英寸的6eme晶片陣列。該單元用於在基板上創建光敏層，用於光刻或蝕刻工藝。LEYBOLD HERAEUS SYRUS C1350采用多級塗層技術,允許晶圓與基板的比例控制,以獲得最佳的工藝結果。該工藝包括在基板表面上塗抹一層光刻膠，將光刻膠層烘烤至預定溫度，再塗抹更多層光刻膠。這臺機器還允許處理單步塗層和均勻覆蓋的四聯塗層。使用CAD工具將光刻石線打印到基板上,並使用半自動激光幹涉儀來確定要蝕刻的圖樣的高度。然後將激光束聚焦到晶片上以顯示所需的圖樣。曝光後，晶片再經過顯影劑處理，去除了光刻膠未曝光的部分。SYRUS-C 1350提供了最先進的功能,包括每次曝光的可調劑量控制、局部模式特定曝光以及過程自動化功能。它還能夠進行低至0.2微米的高分辨率成像。該資產為用戶提供了使用手動、半自動或全自動流程的選項，允許根據應用程序進行不同數量的控制和定制。其他優點包括柔性針設計，確保基板的均勻覆蓋和精確的光刻圖樣。SYRUS C1350提供高質量和可靠的抗蝕劑處理,使用戶能夠高精度地制造復雜的結構。它是制造高分辨率電子電路和元件的寶貴工具。該模型提供了廣泛的特性和功能,可用於制造各種應用程序的產品。