二手 LEYBOLD HERAEUS TCO #9259572 待售

LEYBOLD HERAEUS TCO是一種光刻系統，旨在優化半導體生產中的光刻工藝。光致抗蝕劑是一種聚合物材料，當暴露在光下時，會發生化學變化，並按照將光刻技術轉移到半導體表面上所需的模式進行蝕刻。TCO同時包含正負色調開發者、開發者添加劑Ti-SAA和開發者穩定器,以確保最佳工藝性能。Positive Tone開發人員（稱為LEYBOLD HERAEUS TCO-PT）提供高分辨率和清晰的陣列效果,同時還提供一致的整體蝕刻性能和強大的工藝緯度。它有高粘度和低粘度兩種配方，以滿足特定的客戶要求。此外，它的快速穩定作用防止了溶解材料的堆積，並確保了最佳性能。Negative Tone開發者，稱為TCO-NT，被設計成開發速度比Positive Tone開發者更快。這使得它更適合於高通量的過程，也能夠產生高分辨率的光刻。此外，Ti-SAA添加劑還能改善側壁，減少拐角舍入。它還可以減少晶圓表面的底切量，從而導致更清潔的圖樣和更大的產量。最後，顯影劑穩定劑降低了由於自旋速度而造成聚合物破壞的機會，並有助於保持一致的抗剝離速率。這些特點，加上LEYBOLD HERAEUS TCO的其他特殊優勢，例如其出色的保質期和易於處理，使其成為現代光刻光刻工藝在半導體生產中的理想選擇。它能夠快速可靠地產生高質量的輸出,這使TCO成為同類產品中最受歡迎的系統之一。