二手 LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro #9329086 待售

LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro是一種用於處理高分辨率應用的光刻設備。它是為制造微機電系統（MEMS）和納米機電系統（NEMS）等微器件而研制的。CCS Pro系統提供了一種先進的光刻技術,可以制造高分辨率的高精度薄膜。該單元利用紫外線（UV，Holmium： Yttrium Aluminum Garnet）激光輻射，在抗蝕劑上暴露出高度聚焦的圖像，以便創造出只有幾納米大小的結構。LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro單元配備了自對準級和石英紅色激光器，以非接觸方式進行曝光，確保抵抗膜不會失穩。CCS Pro機具有多種控制功能，可通過用戶友好界面輕松調整。其中包括劑量控制和劑量率測量、階段的平面內運動和模式對準能力。機器還配備了一個可調長度的磁場停止裝置，允許將曝光限制在指定的寬度，從而進一步提高處理過的圖樣的分辨率。LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro還能夠對激光進行可變重復曝光和自動聚焦，以幫助確保精確和可重復的結果。該單位內置安全措施，保護操作員免受激光潛在危害。它具有控制總輻射率的能力，並配有一個防反射排氣工具，該工具可以消散過程中產生的所有熱量，以保持抗蝕劑的溫度和保持裝置的工作環境。此外，該資產還連接到激光控制模型，以監測和調節激光強度。為了確保清潔和統一的結果,CCS Pro設備具有內置的晶圓清洗站和旋轉塗層站,從而可以輕松高效地準備設備的表面。此外,還可以對機器進行進一步修改,以便與幹蝕刻系統結合使用。總體而言,LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro為制造高分辨率微和納米設備提供了全面的解決方案。它具有很大的靈活性以適應不同的目標要求,並具有有效的安全措施來保護用戶。