二手 LEYBOLD OPTICS MCS 480 #9394822 待售

LEYBOLD OPTICS MCS 480是一種光刻膠設備，設計用於光刻膠快速暴露於紫外線輻射下。該系統由燈源模塊和光阻處理模塊兩大組件組成。燈源模塊由四個300瓦汞蒸氣短弧燈組成，每個燈都有各自的光學濾光片，以確保紫外線的適當強度和波長。這些燈被封裝在水冷石英反射器中，該反射器具有可調腔室，其設計有助於減少光刻材料的加熱和冷卻時間。外殼也可以編程成在角度之間旋轉，以提供均勻暴露於基板上的光刻膠。光致抗蝕劑處理模塊由一個腔室組成，該腔室的設計目的是提供一個統一的大氣，以便在曝光期間精確控制環境。該腔室包含一個用於控制溫度和濕度的鼓風機單元，並與來自燈源模塊的四盞燈相連。腔室還設有可調百葉窗，用於控制到達基板的紫外線量。MCS 480能夠以高達400nm/秒的曝光率處理直徑不超過25英寸、厚度不超過0.5英寸的基板。它具有PLC界面，允許用戶精確控制紫外線的強度和波長以及曝光和冷卻過程的時間。它還有一個集成的過程控制器,可存儲多達200個單獨的曝光配方,以便快速輕松地進行設置。LEYBOLD OPTICS MCS 480是一款經濟高效、高性能的光刻機,為用戶提供當今精密光刻工藝所需的快速、可重復和精確的曝光。該工具非常適合用於生產半導體晶圓、光電器件和印刷電路板的掩模制作、直接寫入光刻和直接成像等應用。