二手 LEYBOLD OPTICS MCS #293615755 待售

LEYBOLD OPTICS MCS（Microfabrication Control Equipment）是為生產高精度MEMS（微機電系統）和其他微加工工藝而設計的綜合光刻系統。MCS是一個閉環單元，通過實時監控和反饋提供自動化的過程控制，因此使用戶能夠確保可重復、優化的性能。LEYBOLD OPTICS MCS由三個主要組件組成：一個光刻裝置、一個自旋塗層和一個IMB（集成測量板）。光致抗蝕劑單元用於塗覆具有光致抗蝕劑、控制溫度、試劑濃度和幹燥時間的樣品。自旋塗層負責在樣品上塗上均勻的光致抗蝕劑塗層。最後，采用集成測量板分析和控制應用光刻膠層的高度、寬度和厚度。MCS機的主要優點是能自動完成光刻過程，精度近乎完美。這提供了成本效益，同時使用戶能夠不費吹灰之力地制作高精度的微工件。此外，LEYBOLD OPTICS MCS工具還允許增加各種子系統，以進一步提高性能。這些子系統包括激光微處理、激光退火和激光燒蝕等附加應用。總體而言，管理控制系統允許采用完整的自動微加工工藝，這大大降低了生產成本，同時在制造微加工時實現了近乎完美的精確度。可自定義資產還使用戶能夠選擇最適合其特定流程的系統和子系統,從而確保最佳性能。