二手 LEYBOLD OPTICS MCS #9386355 待售

LEYBOLD OPTICS MCS是LEYBOLD OPTICS開發的一種綜合性光刻設備，用於廣泛的微電子和納米級光刻制造工藝。該系統包括一個最小分辨率為0.5µm的高分辨率掩模對準器和一個由專有材料組成的掩模單元,其設計目的是在掩模制造過程中最大程度地減少失真。MCS是復雜高密度光敏結構制造的一種經濟高效的解決方案。該機器采用專有的高頻紫外線光源，能夠產生波長λ=350-450 nm的輻射，以及具有高精度薄玻璃基板的反射板，能夠進行納米級成像。LEYBOLD OPTICS MCS工具配備了先進的軟件控制資產，允許廣泛的定制，例如圖像的曝光劑量、形狀、大小和時間。此外，作為模型的關鍵組成部分，MCS微MSC光刻設備提供了對光刻工藝的全精度控制。利用高幀速率電子束，這一工藝可以達到0.1µm的高分辨率，非常適合生產精密度最高的結構。此外，該系統還配備了一個高親和力濕處理單元，這使得光刻工藝能夠在沒有細線和邊緣定義問題的情況下完成。此外,LEYBOLD OPTICS MCS還利用先進的熱處理能力來改善缺陷和汙染控制。該機設計為提供一致的高質量熱處理，功耗低，因此單價相對較低。此外，MCS微MSC光刻工具還配備了先進的真空室，能夠進行高精度的低溫真空處理。在低真空環境下，抗蝕劑的材料性能發生了巨大變化，使其能夠顯著改善和一致的效果。綜上所述，LEYBOLD OPTICS MCS是一種提供高分辨率、低缺陷率和卓越精度的綜合光刻資產。利用高頻UV光源、高分辨率微掩模對準器和精確熱處理等先進工具，該模型能夠選擇性地以極高的精度制造極小尺寸的元件。該設備的設計目的是使以後幾代集成電路的生產具有更高的精確度。