二手 LEYBOLD OPTICS Syrus TC III #9394826 待售

LEYBOLD OPTICS Syrus TC III是用於先進集成電路生產的最先進的光刻設備。該系統的工作原理是將遮罩光學投射到晶片上，以產生一層薄薄的光刻膠。然後在諸如蝕刻等化學加工過程中使用該層保護晶片表面。Syrus TC III高度精確，允許分辨率低至0.25 µm。它具有一個可變的NA 0.5-0.7可變基板，以及一個154毫米的圖像圈，用於投影更大的蒙版。該單元配備了633 nm激光進行快速曝光，以及雙色鏡以消除投影像差。270 nm垂直照明可看到高達3.8 mWatts/cm2的照明強度。整個機器的核心設計具有靈活性和自動化。例如,該工具與各種各樣的晶圓形狀和厚度兼容,例如圓形、矩形甚至正方形。它還具有高級流程控制資產,它允許自動化配方,以實現多層的最大可重復性和流程一致性。它還具有多區域重叠曝光功能,可減少蒙版加載時間和成本。LEYBOLD OPTICS Syrus TC III是最先進的光刻膠系統之一。它提高了生產速度和精度，同時改善了廢物管理和成本效益。這使得它成為大容量處理感光材料的理想選擇。