二手 LEYBOLD Syrus 1510C #9395373 待售
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單擊可縮放
ID: 9395373
優質的: 2007
AR Coating system
WAU 2001 H Rotary pump
SV630 Booster pump
POLYCOLD PFC-1102HC Chiller
Hydronium box: LEYBOLD TP 250
(2) EB-Guns with 8-pockets crucible
Ion source: APS Source with TP250 Controller
Crystal system: Q242 Board with 6-crystal head auto-change
POLYCOLD Cooling capacity: 860 W
POLYCOLD Cooling temperature: -130°C
Short circuit: 100 kA
Rated power: 110 kVA
Temperature: 35°C
HV Power supply: Output 10 kV
E-Beam gun: HPE12/10
Air relative humidity: Maximum 65%
Heating voltage: 400 VAC
Evaporator boat:
Tungsten
Tantalum
Niobium
Control system:
IPC Controller: BECKHOFF C5102-0010
HMI: BECKHOFF CP6902-0001-0000
Independent IDE display card
Non-functional UPS
Power supply: (3) 400 VAC±10%, 3-Phase, 50 Hz
2007 vintage.
LEYBOLD Syrus 1510C是用於光刻應用的光刻設備。該系統包括一個阻擋軌道、一個後開發單元和一個開發者。它為光敏處理提供了一個可重復、可靠的平臺。Syrus 1510C具有簡單且用戶友好的設計,使其能夠快速設置和操作。該單元具有雙軌設計,允許同時執行兩個不同的處理作業。此外，該機器有一個微處理器，可以編程，以幫助食譜的重復性和盡量減少用戶之間的設置時間。LEYBOLD Syrus 1510C的主要組成部分是抵抗軌道和後開發單元。抗蝕劑軌跡包含穿孔的內壁和外壁,它們通過刀具創建一致的層流。這在曝光過程中造成了光刻膠材料的均勻擴散。後開發單元包含一個光源，用於在晶片上創建光刻膜。Syrus 1510C還包括一個顯影劑，用於去除暴露的光致抗蝕劑材料。這樣就可以使用所需的模式來處理基板。顯影劑的設計是有效和一致的去除光敏層，同時保留定義的基板地形。LEYBOLD Syrus 1510C是一種高度通用和可靠的光刻資產。它具有簡單、用戶友好的設計與雙軌設計和自動化控制相結合，使用戶能夠快速高效地處理光刻膠層。此外,它還提供了極好的可重復性,可最大程度地減少作業之間的設置時間。該模型非常適合提供處理半導體器件所需的質量和均勻的光刻膠現成基板。
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