二手 LOTUS SYSTEMS CVS/CDS #293589874 待售

LOTUS SYSTEMS CVS/CDS是一種光刻設備,為電路制造提供經濟高效、可靠且靈活的解決方案。具體來說，它是一種由易於加工且具有高分辨率和穩定性的材料組成的抗蝕性塗層系統。該裝置結合化學和塗層技術，提供良好的工藝重復性。光刻機的主要部件是LOTUS抗蝕塗層工具（RCS）、LOTUS塗層分配器資產（CDS）、LOTUS光掩模對準模型（PAS）。RCS負責在銅或其他基板上提供均勻可靠的塗層。它有兩個主要部分：鑄造頭，以一致的速率輸送光敏材料，並對其精確度進行監測；和兩個跟蹤臂，它們在基板表面移動並保持均勻的塗層厚度。CDS負責提供精確和可重復的光敏材料。它配備了一個自動分配器，監控進料速率、材料溫度和儲層水位。這樣可以確保在基材上使用的材料數量一致。最後,PAS與CDS和RCS配合工作,通過對齊基板上的光掩模,使基板上的光刻膠圖案與光掩模的圖案對齊。這種對準是通過精確放置和表面讀取光掩模來實現的。LOTUS SYSTEMS CVS/CDS中使用的光敏材料通常是聚合物材料，如聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）和聚乙氧基乙酰乙酸乙酯（PEVA）。通常選擇這些聚合物是因為它們具有穩定的電性能和易於根據客戶需求進行修改的能力。光刻膠還具有很高的光敏度，這意味著它可以很容易地暴露在受控的紫外線光源下進行圖樣化。LOTUS SYSTEMS CVS/CDS為電路制造提供了一種易於編程和用戶友好的方式。它是一種穩定、一致的防腐塗層設備,可提供快速的生產速度、高分辨率和出色的光掩模對準精度。該系統也具有成本效益，需要最少的操作員培訓和維護。