二手 LUNG PIEN LP-1500 EBA #293642696 待售
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ID: 293642696
Vacuum coater
Diameter size: 1500 mm
Fixture size: 1400 mm
Ultimate vacuum: 10^-7 Torr / 10^-5 Pa
Maximum substrate temperature: 350°C
Cooling water flow: 150 Liters/min
Air compressor: 3~5HP
Air pressure: 6-8 Kg/cm²
Grounding resistance: <5 Ohms
Exhaust system:
Rotary pump: 5,000 Liters/min
Strengthen pump: 1,500 M³/hour
Diffusion pump: 45,000 Liters/sec
Ultra low temperature freezers: -110°C ~ -140°C
Heating system:
Micro heater: 36 kW
Film thickness gauge:
Optical film thickness meter: LP Film thickness meter wide wave region
Quartz film thickness meter: Monolithic sensor head / six sensing head
Vacuum gauge:
Pirani+Cold cathode (1ATM~ 10^-9 Torr / 1ATM~ 10^-7 Pa)
Evaporation source:
JEOL / PLASMATECH Electron gun, 6 kW / 10 kW / 15 kW
Resistance heating: 6 kW
Cooling tower:
Pressure: 4 Kg/cm²
Pressure: 2 Kg/cm²
Power supply: 80 kW.
LUNG PIEN LP-1500 EBA光敏設備的設計符合微電子行業先進包裝工藝的要求。該系統是一個完全可編程的自動化制造解決方案,使用專有技術開發、加工和生產最精確的表面處理所需的最高質量的光刻膠層。其獨特的設計允許精確的層厚度調整，改進的附著力，和精確的固化控制。LP-1500 EBA可以在幾乎任何環境中進行精確測量,從而使用戶能夠實現精確的表面處理。它完全配備了一個自動化單元，用於精確控制每一層的具體參數。這包括層厚度、附著力和固化控制。LUNG PIEN LP-1500 EBA還結合了先進的應用技術,用於光阻層的統一應用.這使用戶能夠快速準確地調整層厚度和形狀,從而產生無缺陷的重塑產品。它還包括強大的數字成像系統，提供無與倫比的洞察層的精確表面處理參數。LP-1500 EBA具有強大的全頻譜監控和診斷功能,即使在不同的生產環境中也能確保最佳性能。它可以實時檢測各層厚度和均勻性的任何變化，方便即時糾正誤差。集成光學元件即使在有湍流的情況下也能運行，在過程開發過程中提供了完全的靈活性和靈活性。LUNG PIEN LP-1500 EBA可用於多種操作,允許用戶在生產過程中進行更改,防止成本高昂的浪費,並確保成品的最高質量。LP-1500 EBA是一種高度可靠且用戶友好的機器,能夠滿足最高的精度和準確性標準。它結合了先進的技術、高精度的元件和可靠的設計,使其成為高級包裝過程的理想解決方案。
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