二手 LUNG PIEN LP-1800 EBA #293642698 待售
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單擊可縮放
ID: 293642698
Vacuum coater
Diameter size: 1800 mm
Fixture size: 1600 mm
Ultimate vacuum: 10^-7 Torr / 10^-5 Pa
Maximum substrate temperature: 350°C
Cooling water flow: 180 Liters/min
Grounding resistance: <5 Ohms
Air compressor:
Pneumatic: 8 Kg/cm²
Exhaust system:
Rotary pump: 6,000 Liters /min
Strengthen pump: 2,600 M³/hour
(2) Diffusion pumps: 45,000 Liters/sec
Ultra low temperature freezers: -110°C~ -140°C
Heating system:
Micro heater: 42 kW
Film thickness gauge:
Optical film thickness meter: LP Film thickness meter wide
Quartz film thickness meter: Monolithic sensor head / six sensing head
Vacuum gauge:
Pirani+Cold cathode (1ATM~ 10^-9 Torr / 1ATM~ 10^-7 Pa)
Evaporation source:
JEOL / PLASMATECH Electron gun, 6 kW / 10 kW / 15 kW
Resistance heating: 6 kW
Cooling system:
Pressure: 4 Kg/cm²
Pressure: 2 Kg/cm²
Power supply: 110 kW.
LUNG PIEN LP-1800 EBA是為高質量和生產效率而制造的先進光刻設備.它是一個獨立的單元，由一個可疏散的光阻處理器、排便監控器以及傳感器和數據采集電子設備組成。LP-1800處理器提供一致的處理參數,同時提供高精度的過程控制。排便監控系統配有大型高清彩色液晶顯示屏，允許對缺陷進行實時觀察，便於串聯故障檢測分析。該裝置采用先進的抗蝕劑剝離技術，用於預幹工藝，使其適合各種光刻材料。前饋控制機、高工藝速度設置、激光高度和薄膜厚度監控等先進功能進一步確保了最高質量和精度。LP-1800 EBA還提供全面的儀器,包括溫度、力、壓力、真空和粒子監測,提供準確可靠的數據。此外,LUNG PIEN LP-1800 EBA還具有統一批量處理的集成反饋控制和即時問題解決的自動測試停止功能。該工具還具有自動化的高度集成功能,允許用戶輕松地對自己的抵抗進程進行編程,以及用戶友好的觸摸屏控件,以便於對不同的進程步驟進行編程和優化。LP-1800 EBA非常適合支持光刻激光燒蝕和光刻等先進工藝技術。它的性能和先進的特性使其成為希望確保過程一致的制造設施以及高質量和高產生產的絕佳選擇。
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