二手 M-SETEK VL-6000 #9148407 待售
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M-SETEK VL-6000光刻設備是由領先的口罩制造設備制造商M-SETEK制造的設備。該系統用於制造半導體器件,需要各種材料的精密圖樣才能暴露於應用光源。VL-6000具有一套先進的光刻能力,以實現令人難以置信的精確模式成像。M-SETEK VL-6000的核心裝置是精密XY級,包含高精度、低失真的線性組件。這種裝置允許基板和光束非常精確的對準,使用戶能夠產生超適應的圖像和圖樣。該裝置還具有一個加熱室,在光學成像過程中使光刻膠保持均勻熔化狀態,提供了非常明確的圖樣。該單元還配備了幾個附件,最重要的是一個電動,同步快門。這可以讓使用者精確控制每次拍攝的曝光時間,確保只有目標圖樣暴露在光源下。該機還配有高精度激光幹涉儀,使用戶能夠對基板級位置進行激光校準,達到極致精度。VL-6000還包括一個傳感器裝置的抵抗殼。其中包含檢測抗蝕劑溫度和粘度變化的傳感器,允許用戶在過程中需要時調整參數。此外,該工具還配有高分辨率成像攝像頭,使用戶能夠檢查和驗證每次拍攝的結果。M-SETEK VL-6000還配備了強大的軟件來控制其所有功能。這使用戶可以輕松地設置和執行一系列鏡頭,只需一次擊鍵即可啟動整個成像過程。綜上所述,M-SETEK的VL-6000光刻資產是為制造高精度半導體器件而設計的先進的多功能光刻模型。設備設有精密的XY級、加熱室、同步電動快門、激光幹涉儀和先進的抗拒監測傳感器,以及高分辨率成像攝像頭和直觀的軟件平臺。
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