二手 MESETEK VFC-8000 #9198035 待售
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MESETEK VFC-8000光刻設備是一種最先進的模塊化系統,專為各種光刻工藝和應用而設計。它具有多種功能,使其成為電子、醫療、光學和顯示行業中各種生產和研究應用的優秀解決方案。VFC-8000采用模塊化平臺,為用戶提供靈活便捷的解決方案。它有多種配置,包括單光束和雙光束,最多有八個獨立的激光器,並支持廣泛的曝光能量。該單元可以有效地暴露廣泛的晶片(直徑可達8英寸)、光刻膠和許多其他材料。該機器先進的光學分布功能包括創新的曝光對準過程,可最大限度地提高單光束和雙光束曝光系統的曝光均勻性。它還包括一個光束聚焦工具,將曝光光精確地聚焦在所需區域。MESETEK VFC-8000的照明控制資產可確保整個曝光區域的準確和連續曝光水平。這有助於確保最均勻的薄膜沈積和特征尺寸的最佳分辨率。VFC-8000還提供了一個流程監控模型,可讓用戶實時反饋開發的光刻膠的質量,幫助用戶快速識別流程問題。作為其過程監測設備的一部分,MESETEK VFC-8000還包括一個有源故障檢測系統,該系統有助於確保以節省和可重復的方式開發光刻膠。總體而言,VFC-8000是一個先進的模塊化光刻裝置,可為用戶提供最大的靈活性、準確性和對光刻工藝的控制。其令人印象深刻的一系列功能,包括創新的對準和聚焦機器、主動故障檢測和監控工具以及主動暴露水平,有助於確保可靠和均勻的薄膜沈積,同時也有助於改善工藝周期時間。MESETEK VFC-8000是電子、醫療、光學和顯示行業的絕佳解決方案。
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