二手 MIKASA 1H-D2 #9393317 待售

MIKASA 1H-D2
製造商
MIKASA
模型
1H-D2
ID: 9393317
Spin coater.
MIKASA 1H-D2是一種前沿光刻設備,旨在在具有挑戰性的光刻應用中提供卓越的性能。光致抗蝕劑是用於制造集成電路的材料,使用光刻投影儀暴露於光。根據暴露的不同,抗蝕劑材料要麼有選擇地蝕刻掉,要麼保留下來,形成復雜的模式,構成電路元件的基礎。在苛刻的光刻應用中,1H-D2提供了比傳統光刻膠更好的圖樣保真度。MIKASA 1H-D2包括兩個主要組件:光敏抗性材料和圖樣工藝。光敏材料由聚合物粘合劑和各種添加劑組成,它們對不同波長的光有反應。當暴露在光源下,被暴露的抗蝕劑部分會變硬,而抗蝕劑的未修剪部分則會保持柔軟。這允許蝕刻元件或圖案以產生錯綜復雜的圖案和結構。1H-D2系統的模式過程包括抗蝕劑暴露、顯影和後期處理的一系列步驟。在曝光過程中,抗蝕劑被放置在光刻投影鏡頭上,並暴露在通過鏡頭的光源下。暴露後,並視暴露時間而定,抗蝕劑的暴露區域會變硬,而那些保持柔軟的區域可以用化學蝕刻劑有選擇地去除。在這一步驟之後,化學-機械發展過程發生了,它使用化學和機械方法的組合去除抗蝕劑的未反應部分。最後,進行後處理步驟,用另一種化學或機械方法除去任何殘留的軟性抗蝕劑。使用MIKASA 1H-D2光刻膠裝置的優點包括比傳統光刻膠更高的分辨率,以及減少晶圓損耗和顯影時間。增強的抗蝕劑分辨率有助於改進陣列制作過程,並降低與設備制造相關的成本。此外,晶圓損耗和開發時間由於能夠有選擇地處理抗蝕劑的區域而減少,從而消除了設備設計不需要的區域。總之,1H-D2是一種在光刻應用中提供卓越分辨率和性能的最先進的光刻機。提高的分辨率有助於提高設備制造工藝,減少晶圓損耗和開發時間,使整個生產過程更加高效。
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