二手 MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408SE #9280828 待售
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MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408SE是一種光刻設備,用於曝光光刻或印刷電路板的基板。MP-1408SE包括提供紫外線照明的真空紫外線(VUV)燈源、用於固定金屬或鉻面罩的遮罩級、用於固定和移動基板的燈和遮罩之間的光路以及用於固定和移動基板的基板級。燈源產生線聚焦的VUV光束。系統中使用多個聚焦透鏡引導光束通過高度調諧的光路。這樣可以使光束向下聚焦到一個小點,從而在基板上提供高分辨率的圖像。該單元還包括一個擴散準直儀,以確保整個基板的均勻性和一個屏蔽,以防止雜散排放。遮罩臺是一種高精度、超穩定的機器,將金屬或鉻遮罩固定在基板上。該級由一個滾筒工具組成,用於對齊和穩定蒙版以進行曝光。它還包含兩個精密級線性級,一個為水平級,一個為垂直級,以便使掩模精確聚焦在基板上。基板級設計用來容納任何大小或形狀的基板,長度可達25毫米。它具有七個位置的卡盤,可以在曝光過程中將基板牢固地固定到位。卡盤安裝在旋轉執行器上,以提供精確和可重復的基板定位。舞臺上還安裝了紫外線過濾器,以保護基板免受燈的輻射。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408SE是一種高度可靠且用途廣泛的光刻膠資產。它提供了一個快速和準確的曝光,同時允許精確和可重復的定位基板。其高精度的光學元件和堅固的舞臺確保了卓越的圖像質量和均勻性。它能夠暴露出包括聚酰亞胺、二氧化矽、玻璃在內的多種基材。此外,它的可調功率燈控制允許微調光束的亮度,以獲得最佳分辨率和曝光時間。
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