二手 MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408T LN #9243732 待售

MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408T LN是開發和處理高密度半導體器件的光刻設備。該系統設有光刻膠模塊、噴霧模塊、預處理模塊和後處理模塊，為軟硬光刻膠工藝提供全面的解決方案。光致抗蝕劑模塊利用先進的光學工藝來曝光具有精確成型圖樣的半導體。這包括高速數字成像、掩模成像和檢查功能,這些功能允許從多個基板逐層高效構建復雜的設計。可加工直徑達300毫米的基板，並可進行最多五次掩蔽。使用全自動自動調平流程進一步提高了流程的準確性和速度。噴霧模組提供嚴密的過程控制和均勻的物料沈積。它包括一個自動調平旋轉或噴塗單元，用於應用抗蝕劑材料，然後是一個專利多區幹燥機。自旋法產生高清晰度的精確共形線，而噴霧技術則產生具有卓越均勻性的三維特征。預處理模塊用於光致抗蝕劑沈積前的清潔和表面調節。它包含酸性和堿性化學工藝，用於清潔表面的汙染物。作為額外的一層保護，清潔化學品沒有連貫性，預處理混合物多次重復使用，具有優越的圖樣質量和可重復性。處理後模塊通過去除任何殘留的光致抗蝕劑來完成該過程。它由一個水剝離工具組成，然後是熱水沖洗和幹燥過程。這一多步驟工藝確保從各種尺寸的基板上完全去除光致抗蝕劑。MP-1408T LN是開發下一代半導體器件的通用且經濟高效的解決方案。其自動化工藝提供了卓越的產品質量，能夠處理軟和硬光刻層。因此，該資產適用於廣泛的電路設計。