二手 MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-18M08J-Se #9280579 待售
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MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-18M08J-Se是一款高性能的光阻設備,可為一系列光電應用提供卓越的工藝一致性和用戶靈活性。該系統設計用於先進的生產過程,經過優化,能夠精確曝光各種光刻膠層,包括PMMA、SU-8和I線光刻膠。MP-18M08J-Se具有兩區傳輸級,可同時塗覆和曝光光刻膠層,從而最大限度地減少傳輸時間。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-18M08J-Se采用RIE(反應性離子蝕刻)配置,有助於光刻膠的精確曝光。MP-18M08J-Se的真空處理室用法蘭密封,法蘭的設計是為了保證適當的大氣室壓力。腔室入口和出口端口確保在暴露過程中N2氣體流動恒定,以幫助清除腔室中不希望的殘留物,並保持受控制的光致抗蝕劑形成環境。該設備占地面積小,可有效利用實驗室工作空間,並為精細樣品提供用戶舒適性和最大的工藝安全性。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-18M08J-Se提供了可靠的真空源,並配備了能夠達到5-10 × 10-8 Torr基本壓力的真空機。MP-18M08J-Se真空工具還通過防止汙染和光敏層缺陷來確保產品質量。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-18M08J-Se的分析能力通過其4英寸雙壁室得到增強。此功能可有效遮擋外部光線,並可精確控制整個曝光過程。這使得可靠的層具有極好的均勻性,即使在具有挑戰性的環境條件下,具有不同的光致抗蝕劑敏感性。MP-18M08J-Se的通用性和性能使其成為膜開關生產、微型電子和LED制造等光電應用的理想選擇。資產的緊湊設計也使得它成為研究實驗室、晶圓廠實驗室或小規模生產設施中的一個吸引人的選擇。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-18M08J-Se旨在預測一系列生產標準的需求,從而使其成為任何光刻技術的理想選擇。
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