二手 MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS #293664056 待售

MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS光刻設備是為先進的矽光刻應用而設計的最先進的解決方案。該系統利用深紫外線（DUV）光源在清潔室環境中對具有高度精確特征的晶片進行制圖。它將高功率激光器與光學、機械方案和電子設備相結合,提供最大分辨率、吞吐量和可靠性。MP-5M8K-NPS單元采用最小像差變形投影機設計，可大大減小曝光面積並確保精確放置精度。它具有0.11微米的減小比5倍的分辨率能力，可以精確描繪特征。該工具采用高峰值功率激光二極管技術進行了改進，以實現最佳的吞吐量，具有卓越的可重復性和長期性能。此外，該資產還配備了一個用於同時多脈沖控制的創新控制器，該控制器可以部署多個狹縫（盒）曝光，使其成為各種應用中光刻的理想選擇。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS模型附有一個冷卻單元，用於冷卻光學元件和激光二極管，並帶有高精度、多軸級，以確保精確對準。創新的晶圓盒式設備提供了短曝光時間，同時提高了可重復性。內置的泄漏探測器和壓力監測器進一步確保了對可靠投影光刻所需真空環境的精確控制。除了其出色的圖像質量外，MP-5M8K-NPS系統還被設計為最大限度地減少粒子的形成。它配備了第一類主動粒子計數器，提供實時反饋，以優化背景汙染水平。該裝置還設有惰性氣體供應機，能夠將不同氣體引入室內，以控制汙染水平。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS光刻工具的設計目的是為半導體行業的OEM提供可靠、高性能的解決方案來滿足其光刻需求。其出色的性能、廣泛的特性和高度精確的圖案設計功能使其成為任何光刻應用的理想選擇。