二手 MITSUI SEIKI SP-40D #9230484 待售

製造商
MITSUI SEIKI
模型
SP-40D
ID: 9230484
晶圓大小: 4"
Spin coater, 4".
MITSUI SEIKI SP-40D是一種光刻設備,專為高分辨率半導體器件設計.該系統配有先進的微處理器控制光學單元、高分辨率光學器件和控制光刻膠曝光過程的先進軟件。它是對矽片等材料等半導體基板進行制圖的理想機器。該機由先進的光學工具、光源和高精度掃描機構組成,為晶圓配準提供精確的掩模。照明源可以是電子槍或高功率LED源。LED源能夠在比電子槍更廣泛的曝光條件下提供更高的分辨率。光學資產由一組目標和一個允許精確曝光對準的電動級組成。該模型還配備了一個直觀的用戶界面,使參數設置和過程控制變得容易。它提供流程監控、數據記錄、流程模擬和數據分析,以優化流程。設備還支持用於控制光刻膠曝光算法的各類軟件。SP-40D有一個內置的自動對焦系統,允許自動對焦設置,使得光刻曝光的過程更加簡單。此外,此單元還提供了廣泛的工藝,如旋轉塗層、蝕刻、接觸打印、晶圓切割和圖樣檢查。它還提供各種工藝參數的選項,例如照明強度、曝光時間、掃描速度和曝光後烘烤時間。總體而言,MITSUI SEIKI SP-40D是一臺功能強大、可靠的光刻機,能夠為半導體器件工藝提供精確、高分辨率的光掩模。它設計為用戶友好,並提供各種功能和功能,可根據每個應用程序的需要輕松配置。它可用於半導體工業中的多種模式化應用。
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