二手 MTI A78967 #168858 待售
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MTI A78967光刻設備是集成電路(IC)制造和微機電系統(MEMS)技術的熱門選擇。該系統包括多個模塊,包括一個旋轉塗層、一個光致抗蝕劑加熱單元和一個非接觸式烘烤裝置。自旋塗層用於將光刻膠快速分配到基板上,通常是矽片。它旋轉晶片以確保光刻膠的均勻塗層,之後會暴露在紫外線下,以便對晶片進行圖案。光敏加熱機優化了軟烘烤過程,有助於確保光敏在隨後的曝光步驟中覆蓋範圍的均勻性。非接觸式烘烤裝置用於加熱基材,以及提供基材內熱量的均勻分布,確保軟烘烤準確進行。A78967是一種非常可靠和高效的光刻加工工具。資產利用多個模塊實現準確和統一的結果,從而在光刻膠制圖過程中獲得精確的結果。該模型可以處理大尺寸的基材,特別是用於IC生產的基材,效果良好。旋轉塗層的特性,如可調節的旋轉速度,可以很容易地調整,以達到理想的效果。光敏加熱設備還具有可調節的溫度和時間設置,在開發精確的光敏圖樣方面提供了靈活性。非接觸式烘烤裝置保證了基板的均勻加熱,進一步保證了精確的制圖效果。總體而言,MTI A78967光刻膠系統是一種可靠且易於使用的IC和MEMS制造裝置。處理各種設置和因素的能力可以確保在IC制造過程中光刻膠圖案的精確和均勻的結果。憑借高效的模塊和多種用戶友好的特點,該機可以輕松成為光刻加工的首選。
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