二手 MTI FLEXIFAB #16662 待售

MTI FLEXIFAB是Molecular Track Imaging（MTI）開發的用於定向能量應用的光阻設備。FLEXIFAB利用一種基於聚合物的光刻技術，這種技術涉及到一個特定的圖案化光致抗蝕劑層，其中光致抗蝕劑材料對紫外線沿各種預定路徑的曝光反應不同。通過控制圖像與基板的比率（I/S比率）和其他參數，可以在復雜的基板上實現所需的圖樣。MTI FLEXIFAB是一種支持功能的系統，具有無與倫比的光刻多功能性。它能夠產生與最新Deep UV （DUV）系統相當的分辨率,但不需要昂貴的DUV硬件。該單元具有集成的計算機硬件、定制軟件、晶圓識別和校準功能以及直觀的操作功能。FLEXIFAB機專為高速運行而設計，允許微電子器件的快速周轉。它為軟直接寫入（SDW）和直接成像（DI）等光刻膠應用提供了最佳效果。MTI FLEXIFAB已成功地被用於生產動態隨機存取存儲器（DRAM）和應用特定集成電路（ASIC）。FLEXIFAB提供了非常精確的光刻範圍.該工具可以產生極好的圖像,具有極高的清晰度和均勻性。自動校準和晶圓識別功能結合使用多種光掩模和基板，在結構完美對準方面具有靈活性和精確度。該資產中使用的光刻膠具有極高的分辨率，允許光學放大倍率高達10,000X。該模型特別適合於微電子器件的批量生產。它可以改進現有技術，同時還能提供成本效益高的新技術設計方法。此外，設備兼容多種基板和光掩模。這使制造商能夠快速生產高可重復性和準確性的大量產品。綜上所述，MTI FLEXIFAB系統是一種高效、技術先進的光阻裝置，其先進的特點、可編程性和速度可見一斑。它允許極其精細的圖像，並且與多個基板和光掩模兼容。集成的特性、晶圓識別和可重復性使其非常適合以經濟高效的方式批量生產微電子器件。