二手 MTI FLEXIFAB #83580 待售

MTI FLEXIFAB是一種光刻設備，有助於簡化半導體制造晶片的制備和加工。它旨在加速光刻以及通過先進的3D體系結構和異構集成的墻面蝕刻過程。該系統可以集成到任何標準的制造設施中,從而實現多功能性和可擴展性。FLEXIFAB具有一項專利技術,稱為「Smart Flex」,可自動解決線縫、叠加和註冊問題。該設備的可擴展性允許多達8英寸的基板,還具有25毫米的側壁選項,並具有高達0.2µm的精細特征分辨率。Smart Flex功能確保對適當的薄膜成型進行集成過程控制,以實現所需的1 µm至大於20 µm的薄膜厚度,並能夠進行無寄存器晶圓配準。光刻機通過將光刻圖樣和蝕刻的各個步驟集成到一個設備中，提供了高容量的吞吐量。這簡化了工藝，從而降低了制造成本。該工具易於使用,需要最少的操作員幹預,並提供更好的均勻性和屈服性能。對資產的實時流程監測和控制使流程管理更加有效，從而提高了吞吐量並提高了收益率。MTI FLEXIFAB支持多種材料，從矽到GaAs，以及蝕刻、濕洗和幹洗、剝離、納米結構形成等各種工藝。它配備了先進的光學檢測模型，提供強大的工藝生成和審核，最大限度地提高產量，減少寶貴的勞動時間。該設備逐層處理芯片上的光刻膠，實際上消除了手工制作電子設備的石刻圖案。它專為電子產品的快速原型設計,允許更短的開發周期、更好的成本控制和改進的產品性能。這種光刻膠系統有助於提高產量，縮短生產周期，進一步提高成本效益。