二手 MTI FLEXIFAB #9073864 待售

MTI FLEXIFAB
製造商
MTI
模型
FLEXIFAB
ID: 9073864
晶圓大小: 6"
Developer, 6" Stand alone: indexer developer.
MTI FLEXIFAB是一種具有超柔性成像技術的光阻系統,可用於先進的3D光識別技術。光致抗蝕劑是一種光敏材料,用於微加工,可用於將材料薄層沈積在基板上。FLEXIFAB利用專有的光刻材料創建分辨率小至10nm的3D結構,而無需傳統的光刻技術。MTI FLEXIFAB使用高能、超短波長光源,如脈沖激光二極管或激光槍,以所需的形狀對光抗蝕劑進行制圖。在給定的光致抗蝕劑層中創建的圖樣可以轉移到諸如矽、石英或玻璃基板等基板上。3D光刻膠圖案構成了3D照片圖案的基礎,使得改進的微設備和MEMS元件得以制造。FLEXIFAB還允許使用復雜的光刻膠結構,從而允許制造分辨率為10nm或更低的3D打印結構。這使得它對於制造極小的微電子元件特別有用。能夠在彼此對齊的不同基板塊之間傳遞圖樣,可以實現很大的控制和準確性。在光致抗蝕劑制圖過程中,將圖像曝光,然後將光致抗蝕劑在一種溶液中顯影,該溶液將已暴露於光源的光致抗蝕劑除去。這一過程的結果是制造了一種三維結構,它可以被操縱和控制的精度和精度下降到一個納米。MTI FLEXIFAB適用於廣泛的微電子和MEMS應用。超短波長光源提供的靈活性和控制使其特別適合於制造集成電路、微流體系統和光電子。也適用於為醫療植入物、傳感器和其他微機電元件制作原型。FLEXIFAB是一種經濟高效、可靠的光刻膠系統,為生產分辨率為10nm或更低的復雜3D光刻結構提供了理想的解決方案。超短波長光源所允許的精度和控制,使其成為尋求制造改進微設備和MEMS組件的人的絕佳選擇。
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