二手 MTI FLEXIFAB #9409838 待售
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MTI FLEXIFAB是由製造科技公司開發的光刻膠系統。(MTI)用於創建具有快速周轉的高精度特征。它采用紫外線激光成像,能夠以高精度和高分辨率制造特征。該系統利用紫外線激光器在指定的基板上蝕刻或轉移預定的圖樣。它主要用於制造微電子元件和其他需要高分辨率特性的精密元件。可以使用任何數量的基板,包括介電、陶瓷、橡膠和各種金屬等。FLEXIFAB光刻膠層由夾在幾層保護塗層和基板之間的光活性層組成。激光能量被光活性層吸收,引起局部化學反應和聚合物結構變形。這種變形被用來形成基板上的特徵。激光曝光後,暴露的區域變得可溶,可以蝕刻掉。未曝光區域保持惰性,形成基板上激光圖樣的負像。這樣就可以制造低至一微米尺寸的特性,具有均勻性和出色的附著力。為了進一步進行後處理,MTI FLEXIFAB還提供了特殊的工藝,如脫鉤和連接塗層、焊料掩蔽和濕蝕刻。它還支持高達六微米厚的多層制造。還提供了幾種類型的放置選項,包括金屬石墨、直接鍵合銅和CTE匹配的金屬堆棧。FLEXIFAB系統的整體優勢包括成本低、周轉快、對準精確、分辨率高、附著力優良。適用於多種應用,包括MEMS(微機電系統)技術、模擬電路、光子元件等微系統。該技術非常靈活,允許定制特定的流程,以便能夠制造具有獨特特性的各種組件。
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