二手 MTI FLEXIFAB #97296 待售

MTI FLEXIFAB是由Material and Testing Instruments（MTI）開發的用於制造復雜半導體器件的光刻設備。該系統具有高度的靈活性，可以創建廣泛的結構，包括盲孔、臺階覆蓋和表面輪廓。該單元由兩個主要組件組成：一個光刻沈積機和一個模式發生器。光致抗蝕劑沈積工具設計用於在基板上均勻地沈積一層光致抗蝕劑。它利用高容量的自動抗拒微調來精確控制抗拒應用過程。旋轉器能夠以不同的速度沈積抗蝕劑，並且具有很高的可重復性，允許在不同的基板上得到一致的結果。第二個組件是模式生成器。此設備用於將圖樣打印到沈積的光刻膠上,作為蝕刻過程的指南。可以將模式編程到資產中,以精確控制創建的結構的大小和形狀。該設備還包括一個攝像頭，可用於識別圖樣中的缺陷，允許根據需要進行調整。這兩個組分的結合提供了許多優於傳統光刻工藝的優勢。這樣的好處之一就是模型能夠創建復雜的三維結構，而傳統的光刻技術是不可能做到的。此外,對抗蝕劑應用程序和陣列化過程的高度精確控制可提高線路分辨率,並提高流程的可重復性。總體而言，FLEXIFAB是制造復雜半導體器件的高效設備。其精確的控制和靈活的特性使得能夠創建高度復雜的設計,並提高線路分辨率、產量和可重復性。因此，它是現代半導體生產工藝的理想選擇。