二手 MTS Marangoni #9165831 待售
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單擊可縮放
ID: 9165831
優質的: 2012
Dryer
N2 Flow -SCFH (SLPM):
Heated N2, High flow
Min: 636 (300)
Max: 1059 (500)
Typical: 850 (400)
Heated N2, Low flow
Min: 50 (23.5)
Max: 75 (35.4)
Typical: 60 (28.3)
IPA Bubbler
Min: 30 (14.1)
Max: 60 (28.3)
Typical: 50 (23.5)
IPA Purge
Min: 30 (14.1)
Max: 60 (28.3)
Typical: 50 (23.5)
Static purge
Min: 30 (14.1)
Max: 60 (28.3)
Typical: 50 (23.5)
Chassis purge
Min: 10 (4.7)
Max: 20 (9.4)
Typical: <15 (7.1)
N2 Temperature:
Heater core: Ambient to 200°C
Heater over-temp:
External surface (Snap switch): 162°C
Heater core: 250°C
Gas temp:
Programmable
Ambient to 160°C
130°C typical
DI Water flow:
During process: 10-15 GPM (38-57 LPM)
Idle (Trickle flow): 1.5 GPH (.09 LPM)
Process capacity (Wafers per run):
Dual tanks: (50) 6" wafers-two cassettes of 25 wafers
Single tank: (25) 12" Wafers
Down and move out time: 6 Hours
Currently installed
2012 vintage.
MTS Marangoni是一種最先進的光刻膠設備，旨在確保需要光刻膠塗層的制造工藝具有高度的精確度和效率。該系統采用了超精密液體塗層的專利工藝，使光刻膠能夠高效可靠地應用於廢棄物和損耗最小的基板上。這種光刻膠單元為用戶提供了一系列的定制選項，使他們能夠根據自己的特定需求量身定制塗層，從而產生機械性能優越、光學清晰度高的光刻膠薄膜。Marangoni光致抗蝕劑是一種紫外線敏感的聚合物溶液，使用專門設計的機器人機器分配。這種塗層被應用到大多數材料上，具有高精度和重復性，使用戶能夠生產出浪費最小化的大型高精度零件。MTS Marangoni工具還提供一系列厚度控制,以幫助管理薄膜的厚度以獲得最佳的光學性能。使用一系列精密噴嘴將溶液霧化成微小的液滴，確保均勻的覆蓋面和最大的性能，來分配光致抗蝕劑。這種液滴沈積過程可確保光致抗蝕劑均勻地應用於基板表面，而不會產生任何空隙或不符合要求。Marangoni資產還提供了一些靈活性調整，包括控制層數和軌道寬度的能力。這樣可以確保用戶能夠準確、一致地應用多個光刻膠層。MTS Marangoni光刻膠模型旨在使光刻膠塗層工藝更容易、更高效。通過消除浪費的時間和產品,Marangoni設備使用戶能夠以最低的工作量和成本生產出優秀的光刻膠片。MTS Marangoni光電抗蝕劑系統設計簡單而堅固,為用戶提供了精確、可靠和高效的工作流程。
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