二手 MUSCAT SPL-455 #9198107 待售

MUSCAT SPL-455是一種設計用於半導體制造過程的光阻設備。它由三菱化工開發，旨在在廣泛的光刻應用中提供高純度、均勻性和可靠性。與傳統的光致抗蝕劑系統不同，SPL-455的設計能夠承受高溫，因此非常適合用於需要高溫穩定性的薄膜加工和其他晶圓級工藝。該系統由一個電化學蝕刻浴和一個高純度的光活性劑組成，當暴露在紫外線下時，會在底物上產生電化學反應，從而導致光致抗蝕劑層的蝕刻。MUSCAT SPL-455中的光活性劑由幾種高純度化合物的混合物組成，其中包括一種穩定劑，如鹽、酸、氧化劑和光致抗蝕劑溶劑。當蝕刻浴暴露在紫外線下，光活性劑中的化合物會帶電，引發電化學反應。這導致了光致抗蝕劑層的蝕刻，使得分辨率和可重復性比傳統光致抗蝕劑系統高得多。電化學蝕刻浴本身的設計是為了保持溫度和化學水平的一致和精確，允許重復性和質量，而不需要頻繁的維護或校準。該單元還提供了各種各樣的過程控制機制，包括多個可定制的參數，例如蝕刻速度和蝕刻速率，以及旨在提高自動化的高級工具和軟件。SPL-455是一種可靠、高質量的光刻機,具有多種功能,用途廣泛,非常適合半導體制造過程。憑借其先進的材料、技術和工藝，該工具為用戶提供了無與倫比的可靠性和性能。