二手 NEXX SYSTEMS Stratus 300 #9244887 待售

NEXX SYSTEMS Stratus 300是一種設計用於微電子制造的光阻設備。其關鍵優點是分辨率高、溶劑消耗低、工藝控制先進。光致抗蝕劑用於將特征蝕刻到矽片或印刷電路板（PCB）等基板上。光致抗蝕劑是一種光敏材料，可以在制造過程中進行化學處理，以保護基板的某些區域。Stratus 300光致抗蝕劑系統由塗層單元和抗蝕劑加工機兩個主要工藝組成。塗層工具使用自動化的旋轉塗層工藝，在基板上塗上均勻的光刻膠層。可以控制最佳塗層厚度的旋轉速度和分配時間。抗蝕劑加工資產用於表露和開發基材。它采用帶有內置快門的水銀弧燈，使曝光時間更快。NEXX SYSTEMS Stratus 300包括一個可容納18個托盤的自動雞蛋托盤裝載機。它還包括一個完全集成的化學劑量模型，可以配置為控制化學水平、溫度和時間。Stratus 300提供先進的工藝控制和出色的分辨率。快門速度可以設置為不到一毫秒，允許非常精確和一致的曝光時間。此外，NEXX SYSTEMS Stratus 300支持使用多種掩模格式和多種波長曝光系統。總體而言,Stratus 300是一款頂級光刻設備,提供出色的工藝控制和分辨率。其先進的自動化和集成的化學劑量系統使其非常適合大批量生產。該裝置非常適合用於微電子制造，由於溶劑消耗低，可節省成本和提高產量。