二手 NEXX SYSTEMS Stratus 300 #9278180 待售

NEXX SYSTEMS Stratus 300是一款世界級的光刻膠設備，旨在滿足最苛刻的光刻膠工藝的嚴格要求。它以經濟高效的方式提供高吞吐量、準確、可重復和可重現的處理。Stratus 300適用於包括多層金屬化、薄膜形成和幹蝕刻在內的所有標準光刻工藝。它提供了極佳的抗蝕劑輪廓均勻性和最小的汙染，設計用於快速和精確的時間多次接觸步驟。其高吞吐量系統產生一致的結果，最高處理速度高達200層/分鐘。NEXX SYSTEMS Stratus 300包含了幾個高級功能。其多級預烘烤模塊為改進沈積和蝕刻提供了高效的預清洗工藝。預烘烤模塊可防止高溫過程中的抗裂紋，並確保在光敏結晶過程中均勻的抗變薄。Stratus 300具有獨特的控制單元，簡化了機器的操作，並提供了曝光參數的完全靈活性。控制控制臺包括多個曝光周期、可編程邏輯功能、PID反饋控制和阻尼器,以及用於配方管理的數據庫。NEXX SYSTEMS Stratus 300包括許多高級功能,包括高分辨率微孔對準工具、納米點均勻性和點匹配算法,以及自動基板手勢跟蹤資產,以提高均勻性和可重復性。Stratus 300專為低成本、可靠加工高價值光刻膠產品而設計。其靈活的前端材料模型使設備與多種化學和底物高度兼容。NEXX SYSTEMS Stratus 300可最大程度地減少汙染,適合單層和多層工藝,從而提高吞吐量並縮短上市時間。