二手 NEXX SYSTEMS Stratus 300 #9289374 待售

NEXX SYSTEMS Stratus 300是一種用於半導體制造工藝的光敏設備。它專門設計用於將高質量的圖樣蝕刻到具有高達1 µm/線寬度的高分辨率圖樣能力的晶片上。Stratus 300采用先進的多束紫外線光源,提供最先進的光刻技術,能夠產生高達365 nm波長的3J/cm2曝光能量。它還包括一個高對比度、低反射的優化波長優化系統，以提高蝕刻精度。NEXX SYSTEMS Stratus 300具有全自動對準單元和用於測量關鍵特征的集成計量機,可處理直徑不超過8英寸的晶片。該工具采用動態交換機制進行晶圓交換和快速裝卸。Stratus 300除了具有高分辨率蝕刻功能外,還使用先進的計算機軟件提供數據處理和控制系統,以跟蹤、控制和報告所有相關的光刻蝕刻配方。這樣可以更快、更準確地進行蝕刻操作,並能夠監控和記錄結果以進行質量控制和詳細的錯誤跟蹤。NEXX SYSTEMS Stratus 300還包括一個獨特的自動聚焦功能,最大標線尺寸為75 mm,使其能夠以高精度蝕刻到納米級。此外,自動調平資產通過控制掩模傾斜、聚焦、抗厚度和曝光等工藝參數,確保整個晶片的蝕刻均勻。總體而言,Stratus 300是一款先進可靠的光刻膠型號,具有豐富的特性和功能。NEXX SYSTEMS Stratus 300具有高分辨率的蝕刻精度和精確控制蝕刻過程的能力，是半導體制造的理想解決方案。