二手 NIDEC SD103 #9115732 待售

NIDEC SD103
製造商
NIDEC
模型
SD103
ID: 9115732
Spin dryer.
NIDEC SD103是由NIDEC有限公司開發的一種先進的光阻設備,其設計目的是為用戶提供在所選基板上精確、精確地通過抗蝕劑圖樣進行蝕刻的能力。該系統設計用於處理半導體芯片,如DRAM、SRAM和ROM芯片,也能夠在塗層晶片上進行其功能。光致抗蝕劑工藝包括將光掩模排列到選定的基板上,然後將其置於針對要開發的特征的大小進行優化的曝光光源下。然後使用顯影劑解決方案開發抗蝕劑模式,去除暴露在光線下的區域。基板的裸露區域成為蝕刻區域,未暴露區域成為非蝕刻區域。NIDEC SD-103單元以面積減小機為特色,使其能提供0.2µm x 0.2µm或更小的光刻膠圖案。它還擁有一個高分辨率的圖像捕獲工具,使它能夠檢測和顯示連續圖像之間可能發生的任何差異。此資產旨在確保蝕刻的一致性。SD103模型還具有全自動處理設備,能夠處理各種任務。這種自動化允許用戶對系統設置進行編程,以適應他們的特定需求,範圍從溫度調整到壓力控制。此外,該單元能夠在單個通道中執行多個抵抗步驟,從而縮短了整個過程的時間。SD-103光刻機具有廣泛的安全功能,以確保該刀具達到最高標準並在其指定的操作參數內工作。它的自動化安全資產不斷監視壓力、溫度和其他因素,以防止對過程造成任何形式的損害。這種先進的光刻膠模型是尋求精度和精確度者的理想選擇。它的自動化功能和一系列安全功能確保NIDEC SD103設備能夠滿足其用戶的要求,而不管正在執行的蝕刻項目的規模和範圍如何。
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