二手 NOVELLUS / LAM Saber XT #9224442 待售
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單擊可縮放
ID: 9224442
晶圓大小: 8"
Cu Plating system, 8"
System controller
Module controller
Cassette handler controller
Main system:
Wafer cassette: 25 wafer
Mini-environment: SYNETICS
Chase computer / monitor: Desktop PC/CRT
Exhaust kit: TOP Mount
Drain kit: Backside
Cassette handler module:
Load port: Static nests, (4) stations
Wafer aligner type: Mechanical center finder
Robot type: AQR7 BROOKS
End effector: SST x/ Vacuum port
Mapping type: Thru-beam
Wafer release: With puff
Plating cell configuration:
Cell 1, cell 2 and cell 3:
Clamshell type: Standard
Clamshell cup type: PPS
Clamshell cylinder: Pressure-vacuum cylinder
ANODE Type: Standard
(2) TI Cables
SAC
Clamshell lift: IAI
ACR
Active top hat
Plating power supply: AE Pulse power supply
Post plating cell configuration:
Cell 1, cell 2 and cell 3:
Chuck type: PPS
Wafer present sensor mount: Standard
EBR
Bath module:
Totalizer #1 & #2 manufacture: FLORITE
Dosing pump 1,2 &3: MS1602-024
Recirculation pump: IWAKI WALCHEM CMD-101
CDM Level sensor type: KEYENCE
Heat exchanger: NESLAB HX-75
Auxiliary equipment:
Chemical monitoring system (CMS): ECI QLC-7000
Chemical delivery system (CDS): OEM
Mini delivery system (MDS): OEM
DI Water delivery system: OEM
Input voltage: 208 VAC, 50/60 Hz, 100 A.
NOVELLUS/LAM Saber XT是一種光刻設備，設計用於各種苛刻的工業應用。該系統采用專利、一次性使用和單步處理，以提供用戶友好和經濟高效的精確成像。該設備先進的光刻技術是獨一無二的,在成像方面可提供高通量和無與倫比的精度。它具有極強的適應性，可以針對不同的工作快速設置，同時仍以最佳性能水平運行。該技術還確保了光刻成像的最高分辨率、準確性和可重復性。LAM Saber XT配備了專用的高功率光學成像機，采用了先進的基於激光的方法。基於激光的標誌性方法使工具能夠保持非常高的精度。此資產還旨在促進提高生產效率的功能,例如直觀和可編程的數據記錄模型,以及實時性能監控以進行監督控制。設備的硬件以直觀的軟件套件為後盾,該套件旨在為用戶提供最大的靈活性和易用性。加載了可編程功能，軟件可以很容易地定制，以適應任何特定任務的需求。對於需要簡單可靠的光刻成像系統的用戶來說，這是一個完美的選擇。最後,NOVELLUS Saber XT的設計具有極大的耐用性和靈活性.其重型部件被安置在一個封閉的單元中，以最大限度地延長壽命並最大限度地減少潛在的維護。此外，Saber XT可以在各種環境條件下安全操作，包括極端溫度和輻射，使其成為廣泛工業應用的理想選擇。最後,NOVELLUS/LAM Saber XT是一款業界領先的光刻機,設計獨特,可為各種苛刻的工業任務提供精確成像。其先進的激光成像工具、直觀的軟件和耐用的結構使其成為尋求可靠可靠性能的人的理想選擇。
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