二手 OKK OKK-500M #9153451 待售

OKK OKK-500M是一種高精度光刻設備，是現代光刻技術發展的重要一步。通過將先進的光學技術、納米定位精度和自動化技術相結合，該系統在多用途、易於使用的設計中提供了卓越的圖像分辨率和過程穩定性。適用於MEMS、復合半導體、柔性印刷電路板等領域的多種應用，以及傳統的器件制造。OKK-500M是一個具有12通道多層托盤堆棧的交鑰匙自動化單元,可實現多層處理以實現高容量生產。它專為實時統一、精確的薄膜厚度控制而設計,即使在尺寸小、寬度低至50 nm的情況下也能獲得優異的效果。其先進的激光束掃描技術提供高達4 um的翻轉芯片分辨率，具有很高的可重復性和精度而不會漂移。OKK OKK-500M通過其場可變光學幹涉儀（FOI）實現了這一點，該幹涉儀通過先進的自適應光學控制施加到光刻器上的光量。此外，還提供了離子束沈積機，以最大限度地提高膜的均勻性。為方便操作，該工具配有大觸摸屏界面，並結合了功能強大的30 KH處理器。PID溫度控制消除了溫度梯度問題，其高效的沈積工具減少了顆粒汙染。該資產還支持非接觸式計量系統，以便更快地啟動和監測流程。最後，OKK-500M的多目標高通量掃描模型允許多種光掩模格式，焦點控制步進分辨率低於30nm。這使得它非常適合定位光掩模特征,並且在需要順序打印時確保完美的可重復性。所有這些特點和更使OKK OKK-500M一個極其強大的光刻設備。它的多功能性、可靠性和成本效益以及高精度使其非常適合任何過程要求復雜的環境。它是當今現代納米制造中使用的任何先進光刻技術的理想選擇。