二手 OKK OKK-604M #9097634 待售

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OKK OKK-604M
已售出
製造商
OKK
模型
OKK-604M
ID: 9097634
優質的: 2006
Spin rinse dryer (SRD) 2006 vintage.
OKK OKK-604M是為廣泛應用而設計的光阻設備。該系統具有高分辨率、高吞吐量和精確精度相結合的特點。事實上,這是一種高度自動化的曝光裝置,利用可見和近紅外激光源對光刻材料進行快速、精確的圖樣處理。OKK-604M允許在整個過程中出現各種暴露模式和強度。其堅固的光束輸送單元由分段顯微鏡物鏡和可調節的百葉窗組成,可在各級高度精確地控制曝光。該機器還能夠快速、方便地切換激光參數,如波長、光斑大小和脈沖持續時間,以適應特定的應用。此外,由於其先進的溫度控制機制,該工具可防止過熱。OKK OKK-604M還具有內置晶圓轉子,允許用戶擴展其處理平面圖樣以及浮雕圖樣、彎曲圖樣和階梯狀圖樣的能力。這可以通過資產的大型機械設計和剛性結構實現穩定成像。其獨特的軟件應用程序還可以實現多級曝光,從接觸大小到較大的投影,以及低占空比脈沖成形能力。OKK-604M具有先進的成像能力、高吞吐量和低孔徑損耗,可提供卓越的速度和準確性。該模型還通過從平面到浮雕圖案的多種圖案技術提供了極好的靈活性和可重復性。簡而言之,OKK OKK-604M是一種高效可靠的光刻設備,它結合了高分辨率的陣列、快速的吞吐量和精確的精度。其強大的光束傳遞系統、溫度控制單元和自動晶圓透納使得它成為廣泛光刻應用的理想選擇。
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