二手 OKK SRD #9135547 待售
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OKK SRD是為半導體制造而設計的高性能光刻設備。是生產高分辨率基板的最佳解決方案。光致抗蝕劑是光敏化合物,常用於半導體器件製造過程。該應用要求開發高性能、可靠的光刻膠系統。SRD提供了一整套可靠、可靠和可靠的光掩模系統,以滿足各種苛刻的要求。它提供了一個精密的生產過程,具有高度的準確性、質量和可重復性。該系統基於聚乙烯酚的單組分化合物,用於配制光致抗蝕劑。光敏化合物由正負光敏層合成。這種光致抗蝕劑層被施加到基板上,然後以圖樣形式暴露在光線下。正光抗蝕劑用於創建正圖樣,而負光抗蝕劑則創建負圖樣。曝光後,光致抗蝕劑被開發出來,以揭示基板上的圖樣。OKK SRD提供了廣泛的性能優勢,包括高分辨率、卓越的靈敏度和出色的附著力。它還為光刻膠提供了防止磨損和物理損壞的保護。它還提供了增強的可重復性、均勻性、深度蝕刻和低殘留光致抗蝕劑。這個單元極其可靠,在半導體工業中使用高度安全。該機還設計用於減少設置時間和改善光刻工作流程。借助自動曝光控制,該工具有助於提高光刻膠工藝的可重復性。此資產還包括一個快速固化過程,該過程可減少步驟時間並提高收益。SRD是產生極高精度和極精細分辨率光掩模的最佳選擇。它還通過使用簡單且成本效益高的單組分光刻膠制劑提供競爭經濟優勢。這種可靠的光致抗蝕劑模型是先進半導體器件制造的理想選擇,並且由於需要生產越來越復雜的基材而日益普及。
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