二手 OKK SRD #9143993 待售

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OKK SRD
已售出
製造商
OKK
模型
SRD
ID: 9143993
晶圓大小: 6"
Spin dryer, 6".
OKK SRD是由OKK Industrial Co.Ltd.它主要用於半導體工業,以允許微芯片上微小結構的精確陣列。這是通過使用光敏材料有選擇地暴露芯片的部分,同時保留其他部分來完成的。光致抗蝕劑系統從紫外線敏感的化學物質開始,這種化學物質沈積在半導體晶圓上。這些化學物質形成了一個抗蝕層,可以使用各種光刻方法進行圖案化。當圖樣暴露於紫外線輻射源時,抗蝕層會變硬。這會形成一個遮罩,使圖案能夠精確地轉移到底層金屬材料上。這一過程始於將一層薄薄的光刻膠塗在半導體晶片上。然後,將晶片放置在光掩模上,並將成像單元調整到所需的曝光波長和強度。當照相噴射器進行拍攝時,紫外線通過光掩模進入光抗蝕劑,並在圖案允許的地方將其曝光。如果曝光正確,抗蝕劑會沿著曝光的圖樣硬化,而未曝光的部分則容易被沖走。下一步,將蝕刻化學物質施加到晶片上,該晶片將被暴露的抗蝕層吸收,不受未硬化部分的影響。隨著蝕刻的進行,光掩模上的圖案被蝕刻到晶圓的表面。根據所需的結果,可以更精確地進行蝕刻,以創建非常小的復雜設計。一旦蝕刻完成,抗蝕層被移除,只留下晶圓表面的圖案。如果需要添加更多詳細信息,則可以重復此過程,從而在另一層上實現更高的精度。這整個過程被稱為光刻,允許以非常小的尺寸精確生產元件。SRD提供了可用的最高質量的光刻膠,可以安裝在各種基板上,如矽、石英和玻璃。此外,它的光靈敏度範圍從深層紫外線延伸到可見光譜,這使得它既適用於高端光學光刻工藝,也適用於一般電路要求。總體而言,OKK SRD是一款出色的光刻機,可輕松提供精確的圖樣。它的人性化操作允許它在各個行業中使用,但在制造小規模元件時尤其出色,例如在微芯片中發現的那些。此外,由於其廣泛的光敏感性,其用途遠遠超出了光刻。
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