二手 OKK SRD #9144785 待售

OKK SRD是一種調制型正光阻設備，用於在基板表面上成像和顯影圖樣。光致抗蝕劑系統用於在基板上創建圖樣，用於各種應用，例如用於電子和光刻的印刷電路。SRD系統由光致抗蝕劑、光源和顯影液三部分組成。光致抗蝕劑是應用於基板表面的光敏材料。當這種材料暴露於光源的光下時，光刻膠的某些區域會發生化學反應，使材料或溶於或不溶於液體顯影劑溶液。這被稱為光刻。OKK SRD單元的光源是調制光，由周期性增加和降低強度的光組成。通過改變光的強度，光致抗蝕劑的特定區域會受到影響，然後這些區域很容易用顯影劑溶液去除。這臺機器的優點是它比使用單級光源耗時少，成本也低。SRD工具中的開發解決方案包含陰離子或陽離子顯影劑。根據所使用的顯影劑類型，光致抗蝕劑暴露在光線下的區域或多或少會變得可溶。這可以讓使用者輕易地從基板表面移除不想要的光刻膠材料。總之，OKK SRD資產是一種創新的光阻模型。它允許用戶使用調制光源和陰離子或陽離子顯影劑溶液在基板上快速、經濟高效地制作圖樣。因此，該設備被廣泛用於生產微電子器件和光刻工藝。