二手 OPTORUN OTFC-1300 #293598129 待售

OPTORUN OTFC-1300是為晶片級或基板級制造應用而設計的高性能光阻設備。該系統由一個處理室、曝光光源以及控制和監控硬件組成。加工室全封閉，使氣候均勻。它能夠保持溫度在20°C至25°C之間，濕度在20%至50%之間。該機還具有抗壓能力，從而實現了高均勻性的抗壓暴露。曝光光源以特定波長傳遞紫外線輻射，用於抗拒處理。它被配置為四元單元以獲得最高精度。此外，特殊的特性，如可調曝光尺寸和位置精度提供了優秀的精度和結果均勻性從一個基板到另一個基板。控制和監控電子設備使用PC接口進行編程。這包括暴露參數、溫度、濕度、壓力和基板傳輸的設置。所有參數都可以實時監控，並根據需要進行調整。數據也可繪制在圖表中以供審查和分析。OPTORUN 1300采用模塊化結構設計,易於集成到現有工廠自動化中。此外,憑借其最先進的設計和高性能,它保證了以最小的停機時間和極好的結果一致性提高生產效率。在半導體器件的制造中，光刻機被證明可以減少工藝變化，提高質量。它還與各種工業標準工藝高度兼容，從常規的自旋塗層到化學氣相沈積（CVD）、金屬化和幹蝕刻等先進技術。總體而言，OTFC 1300是任何需要精確、均勻、可重復的抗蝕劑曝光的半導體生產的絕佳選擇。它能夠幫助減少周期時間和提高產品產量,從而提高生產率和降低生產成本。