二手 OPTORUN OTFC-1300 #9215115 待售
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已售出
ID: 9215115
優質的: 2006
Optical thin film coater
Control: PLC
PC
SUS304 Vacuum chamber
Substrate dome size: D1130 mm
Pumping system:
Mechanical pump 4,000L /min + Mechanical booster pump
(2) Diffusion pumps, 22”
INFICON VGC023 Vacuum gage
Cold trap: POLYCOLD PFC670HC for meissner trap coil
EB Sources:
L: Loop hearth
R: 24-Points hearth
JEOL EB Source 180° deflection system
(2) JEBG-1C2UCHC
Power supply:
JEOL EB Source: JST-10F
Shutters:
(2) EB Sources
Ion source
Ion source:
OPTORUN OIS ONE RF Ion source system: 170 mm Diameter
Substrate fixture:
Variable speed dome: 10~50 RPM
Optical film thickness control system:
OPTORUN HOM2-R-VIS350A
Wavelength range: 350 nm to 1100 nm
Reflection
Crystal film thickness monitor:
INFICON XTC-2
6-Points rotary crystal sensor
Process gasses controller:
Controller: INFICON VCC500
Control valve: INFICON VDM005-X
2006 vintage.
OPTORUN OTFC-1300是一種光阻設備，設計用於經濟高效、高精度生產光阻和其他薄膜塗層材料。該系統提供多種配置選項,允許用戶根據各自的應用程序要求定制設備。它具有先進的塗層頭設計，能夠將均勻的薄膜塗層以優異的精度和可重復性傳遞到任何基板上。OPTORUN 1300包括一個集成的壓力控制真空泵，確保了良好控制的塗層過程，同時也最大限度地減少了光敏材料的蒸發。該機還配備了雙級加熱器，可高效加熱和冷卻材料。該工具有一個內置計時器，可以精確控制應用時間，使用戶能夠輕松調整塗層厚度。OTFC 1300上的光致抗蝕劑工藝是完全自動化的，為用戶提供了可靠和可重復的生產工藝。資產還具有多項綜合安全功能，包括過流保護和緊急關機模式。此外，先進的視覺設備允許用戶在固化前檢查成品光刻膠層。1300利用先進的在線機器人系統,允許更大的靈活性和更快的周轉時間。該單元還具有先進的觸摸屏界面，使用戶能夠快速選擇速度、壓力和材料輸送速率等參數。此外，這臺機器還有一個網絡連接，可以從計算機或智能設備遠程控制和監測光刻膠過程。OTFC-1300設計可靠，易於使用，是批量生產光敏材料的理想解決方案。該工具的自動化過程和可編程安全功能旨在幫助確保產品的一致性和準確性。由於其精確的控制、快速的設置和簡單的維護要求,此資產還非常適合原型設計和小批量生產應用。
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