二手 OPTORUN OTFC-1300CGI #9408415 待售

OPTORUN OTFC-1300CGI是一種光阻設備，旨在以經濟高效的方式提供高分辨率、可靠的光阻塗層工藝。它提供了多種塗層模式，使用戶能夠快速、輕松地以高均勻性和精確度塗覆基板。該系統還支持廣泛的光刻膠材料，允許用戶為其應用找到合適的光刻膠。該單元由激光掃描頭和透鏡和反射鏡陣列組成，均由可調節的鍍鋅掃描機管理。這大大降低了成本、空間和功耗,同時仍提供相同的精度和準確性。該工具還允許在大面積上使用高度均勻、連續的塗層,並且能夠以高達5 m/s的速度運行。資產采用三層抗蝕性塗層工藝，晶圓表面有直接抗蝕性圖案。通過使用三層抗蝕劑工藝，確保了復雜陣列的均勻性、準確性和可重復性。模型由檢流計、激光器、照明器和成像設備組成。檢流計將照明器和激光以特定的模式移動到晶圓表面上，以便生成所需的模式。水冷激光器是一種高功率二極管泵浦固態激光器。它包含一個自動調節激光功率和脈沖持續時間以達到最佳模式的自動功率控制系統。該裝置配備了高質量的微透鏡陣列，可減少進出基板平面的失真。這種微透鏡陣列還有助於實現大面積的均勻性。最後，OTFC-1300CGI采用高精度力學和精密光學設計，提供卓越的薄膜均勻性和準確性。基於塗層工藝,提供了一種可選的運動控制器,以進一步提高其精度.本機能夠實現高精度和可重復性的薄膜均勻性和可陣列復雜和大口罩。