二手 OPTORUN OTFC-1300DBI #293797489 待售

OPTORUN OTFC-1300DBI是一種在半導體器件制造中設計用於抵抗塗層的光阻設備。它為各種光刻工藝提供了卓越的性能和可靠性。有了集成四個功能的特殊設計，OTFC-1300DBI可以處理廣泛的應用需求。OPTORUN OTFC-1300DBI是一種自旋塗層系統，每分鐘可快速沈積多達10個晶圓。這個單元有一個可調的加工室，可以處理不同尺寸和材料的晶片。OTFC-1300DBI還配備了先進的工藝監測機，對塗層工藝進行精確控制。這個工具有專屬的面部清潔方法，可以降低顆粒汙染水平。OPTORUN OTFC-1300DBI中的SPE資產可確保均勻塗層並微調光刻層的厚度。OTFC-1300DBI使用分配頭在塗層前在晶片上準確地塗抹和塗抹光致抗蝕劑。分配頭也可用於塗抹抗反射塗層（ARC），以減少光敏膠的反射效應。OPTORUN OTFC-1300DBI還配備了一個自動晶圓傳輸模型，用於高效加載和操作。該設備還具有特殊的快門功能，當晶片不在使用中時，通過關閉門來確保最佳塗層質量。OTFC-1300DBI利用優勢冷卻系統來確保高溫過程中的最佳光敏性能。先進的散熱技術有助於降低光敏材料的熱應力。通過OPTORUN OTFC-1300 DBI先進的塗層均勻性單元實現了工藝的最佳清潔和可重復。本機還能處理正或負的光刻膠等不同的光刻膠材料。綜上所述，OPTRON OTFC-1300DBI是現代半導體器件制造中為卓越性能和效率而設計的先進光阻工具。憑借其強大的功能和功能,此資產能夠處理各種應用程序並提供出色的效果。