二手 OPTORUN OTFC-1300DBI #9358481 待售

OPTORUN OTFC-1300DBI是OPTORUN為各種電子元件生產中基板的精密圖樣開發的一種先進的先進光阻設備。適用於利用傳統和先進的光刻工藝生產器件。該系統配備了專用的光頭,支持從30 x 40 cm到50 x 100 cm的曝光面積。準分子激光器允許微調曝光，並允許單發自適應聚焦單元、6種光刻模式、可變劑量和高頻掃描等各種特性。這種特性的組合使得復雜結構能夠以經濟高效的方式精確陣列。OTFC-1300DBI具有光學對準機和一組先進的線性步進級，能夠達到很高的分辨率。利用連續相移法優化其光學結構，使衍射效應最小化。它還與包括玻璃、石英、半導體材料在內的各種基材兼容。該工具采用了最新的平版印刷技術，例如高分辨率可見（HRV）成像，這是一種先進的功能，可提供增強的成像能力，用於生產小型特征。該資產還具有模式上的模式（POP）對齊模型,該模型允許多層模式的精確對齊。POP設備能夠管理高分辨率的要求，適用於高精度微電子結構的生產。OPTORUN OTFC-1300DBI與各種層和蝕刻工藝兼容，能夠生產晶圓尺寸的薄片以及小零件。它的各種功能結合起來，為用戶提供了一個高精度、可重復性和吞吐量的光刻系統。適用於生產多種電子設備，如傳感器、集成電路、液晶、OLED和MEMS。