二手 OPTORUN OTFC-1550 #293816717 待售

OPTORUN OTFC-1550是一種精密的顯影劑,專為光刻膠的處理而設計.OPTORUN OTFC 1550具有先進的光學硬件和自動化的工作流程,可提供高的吞吐量處理,並可實現優於層層的對準精度和微觀對準精度。OTFC-1550具有激光二極管和高速成像檢流計技術的精密光頭。這允許快速掃描晶片和芯片，以便精確發展所需的微對齊配準水平。磁頭還提供一系列的曝光分辨率以及控制電光抗蝕劑聚合物色調範圍的能力。OTFC 1550還具有精密光學和氣流管理系統,其設計目的是提高吞吐量和減少缺陷,而不是傳統的光阻處理。專用噴嘴和真空系統有助於確保均勻的塗層厚度,並在晶片和芯片上產生一致的抗蝕性輪廓。精密光學設備還包括自動對準標記檢查，通過驗證塗層覆蓋範圍和阻擋輪廓，幫助提供額外的工藝控制層。OPTORUN OTFC-1550還提供了自動晶圓處理系統，旨在減少缺陷率和縮短周期時間。這個自動化的單元使用視覺機將晶片精確地放置在腔室中，可以精確地記錄基板的主軸高度。視覺工具還能夠檢測表面汙染，這有助於確保塗層在整個抗蝕劑應用過程中保持均勻。OPTORUN OTFC 1550還包括一個直觀的操作員界面，顯示可定制的實時過程信息、完整的錯誤記錄功能以及智能診斷資產。這有助於創建一個強大的工具，確保光刻膠的快速和高效的發展，同時保證高產和優秀的蝕刻質量。