二手 OPTORUN OTFC-1550 #9390009 待售

OPTORUN OTFC-1550是一種全自動光阻膠片處理設備，由基板塗層和顯影室、粘度泵和光阻分配器組成。OPTORUN OTFC 1550提供了一種可靠且可重復的處理光掩模承載基板的方法，尺寸從200毫米x 200毫米到500毫米x 500毫米不等。該系統由一組腔室組成，每個工藝步驟都有一個專用腔室，包括基板塗層和顯影、預烤、分配、後烘烤，最後還有一個光阻去除腔室。OTFC-1550從自動基板塗層室開始，在該室中，光致抗蝕劑以均勻的薄膜厚度施加到基板上。該腔室還具有進行預烤過程的能力，確保了均勻的底膜粘附。分配函數用於確保以所需的厚度將光掩模圖案精確分配到基板上。這是通過集成在設備中的高級光阻分發器實現的。在綜合開發室內進行暴露和開發等後烘烤過程。這室有助於確保一個統一的，整體抗性薄膜輪廓。最後,使用光阻除去（PRR）腔室從基板上除去有害的光阻.這是通過先進的真空輔助技術實現的，該技術旨在確保統一的PRR結果。總體而言，OTFC 1550光刻機提供了一種可靠、可重復的基材加工解決方案。它能夠處理尺寸從200毫米x 200毫米到500毫米x 500毫米不等的帶有光掩模的基板。此外，其集成的預烘烤、分配、後烘烤和PRR工藝可實現精確、均勻的光刻膜處理結果。