二手 OPTORUN OTFC-1800 #9263756 待售

OPTORUN OTFC-1800是一種下一代光阻處理設備,可為廣泛的應用提供卓越的性能和靈活性。這種多功能一體系統使用戶能夠使用光刻技術在基板上輕松創建圖樣。該裝置具有先進的基板處理技術、高度可靠的曝光源和高精度的抗蝕劑處理模塊。OTFC-1800基板處理技術允許使用標準玻璃板或FOUP外殼處理長度不超過36英寸的基板。它允許精確控制基板放置在曝光階段，並具有高精度、穩定和可重復的舞臺運動。這樣可以確保使用最小的曝光截面對齊偽像來實現精確的幾何形狀。OPTORUN OTFC-1800具有高度可靠和可靠的深紫外線曝光源,可提供精確和可重復的模式曝光。該源可以配置為覆蓋全場或步進重復曝光,以及各種功率級別,以適應特定的基板和抵抗要求。它具有大的衍射光柵和廣泛的動態曝光水平，為廣泛的光刻應用。OTFC-1800還具有高度緊湊、高精度和低維護的抗蝕性處理模塊。此模塊使用VA抗性方法來確保高質量的抗性工藝結果,並且可以處理直徑最大為4英寸的基板。它具有溫度維持功能,可確保蝕刻過程中穩定的抗蝕性演變,並且可以配置為最大程度地提高單層或多層結構的工藝產量。總體而言,OPTORUN OTFC-1800是一款用途廣泛且可靠的光刻膠加工機,可為各種應用提供卓越的性能和靈活性。它具有先進的基板處理技術、高度可靠的曝光源和低維護性處理模塊,以確保高精度的模式生成。這使得它成為需要復雜幾何形狀和高吞吐量的光刻應用的理想選擇。