二手 OPTORUN OTFC-1800DBI #9237129 待售
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單擊可縮放
ID: 9237129
Vacuum coating system
With IAD
Chamber size: 1,800 W x 1,910 H
Vacuum pump:
OPTORUN: (2) 28" DP
POLYCOLD PFC-1102 HC Chiller
RP: EDWARDS E2M275
MBP: EDWARDS EH4200
Evaporation:
EB: (2) JEOL JEBG-102UH0
Hearth (Left): φ336xφ264xH15
Hearth (Right): φ40xH17, 30 Points
Shatter: About φ300x2
JEOL BS-72050ICE Power supply
Ion source assist:
RF Ion source: OPTORUN OIS-Three 23 cm Type
RF Neutralizer
Power supply
Shatter: About φ450 size
Controller:
OPTORUN HOM2-R-VIS350A Optical monitor
Wavelength: 350 nm~1100 nm (Reflectance)
Monitor glass: φ142 Size
Monitor points: 80 Points
Crystal monitor: INFICON XTC/3
6-Points rotary censer
OPTORUN Auto-deposition control system
2015-2017 vintage.
OPTORUN OTFC-1800DBI是為高精度和可靠的光刻生產而設計的最先進的光刻設備。該系統配備了最新的功能和技術,以確保最終用戶的卓越性能。它采用獨特、自動化和簡化的光刻工藝,以確保高精度和經濟高效的光刻性能。該單元由一個高精度的分配單元和一個專門的光敏分層室組成,它們共同提供了極其精確的沈積和化學蝕刻工藝。分配裝置能夠分配具有精確± 20微米公差的光敏材料,這對於一致、高質量的光敏特性是必需的。光致抗蝕劑分層室還在整個基板上提供均勻準確的層厚度,以確保一致的圖樣。OTFC-1800DBI具有多種綜合技術特點,包括先進的光學機器,其設計目的是確保光刻過程中的光輸出得到準確的監控。該工具還包括一個專門的、計算機化的配置文件匹配資產,允許用戶快速設置、調整和監控光刻膠層。自動化交付模式還配備了擴展的定制能力,使用戶可以方便地使設備適應不同的基板和層厚度要求。最後,OPTORUN OTFC-1800DBI配備了先進的輸出控制系統,可以讓用戶快速調整平版印刷過程中特定部分的輸出水平,並監控整體性能。該裝置還包括多陣列加熱器機和編程溫度控制工具,使最終用戶能夠精確控制光刻膠的特性。總體而言,OTFC-1800DBI為用戶提供了一種高度精確、自動化和可靠的光刻膠資產,它充分利用了最新的技術進步。該模型具有廣泛的特性和功能,為用戶提供出色的平版印刷生產性能。
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