二手 OPTORUN OTFG-1000C #9359460 待售

OPTORUN OTFG-1000C是一種設計用於各種工藝和應用的高精度光阻設備。該設備的先進設計和功能為用戶提供了可靠且經濟高效的光刻解決方案,具有高度的準確性和可重復性。OTFG-1000C具有可容納1,000毫米x 1,000毫米鏡框的大視野。框架安裝在線性坐標軸平臺上,為框架方向和零件放置提供精確的對齊和定位。此外，該單元還具有用於精確水平映射的綜合視覺指導，以及用於在主題之間快速切換的零工具交換選項。OPTORUN OTFG-1000C先進的光學系統通過廣泛的薄膜、抗蝕劑、顯影劑選項和遮罩材料確保最佳的光掩模性能。該裝置的光輻射源配備了強大的電動真空機，可防止微粒汙染照明路徑，從而確保最佳圖像質量。該工具還包含針對不同抗蝕劑類型的多種成像模式。此外,OTFG-1000C允許用戶根據所需的結果從各種冷熱烘烤設置中進行選擇。熱烘烤是用來增加抗粘性強度和提高產生的圖像的保質期，而冷烘烤是柔性基材或半剛性基材軟烘烤應用的理想選擇。集成運動控制可確保定位精度± 2 μ m左右,靜止零對準精度為1 μ m,精確輻射曝光小於十分之一微米。該裝置可自動補償薄膜或基板厚度的變化，並提供精確的照明和時間控制，以實現一致的光阻渲染。總體而言,OPTORUN OTFG-1000C是一種先進的光刻工藝設備,可提供各種應用程序的精確度和可用性。它對微小材料厚度的高公差以及集成的成像和運動控制技術使其成為各種行業中光刻工藝的理想選擇。