二手 OPTORUN OTFG-1300 #9381885 待售

OPTORUN OTFG-1300
製造商
OPTORUN
模型
OTFG-1300
ID: 9381885
Optical thin film coater QMS OMS Single gun.
OPTORUN OTFG-1300是為先進的光刻工藝設計的光刻設備。它能夠處理各種各樣的光刻膠,從標準的4英寸和8英寸步進層到先進的13英寸產品。該系統設計用於快速處理基板,精確控制暴露和發展時間。OTFG-1300配有冷卻裝置,有助於防止光刻膠層在加工過程中過熱。一種高效的直接寫光機(DWOS)用於確保光刻膠層的精確曝光。該工具還配備了雙級曝光(DSE)功能,可獨立控制基板兩側的曝光時間,從而實現精確的工藝控制。資產利用獨特的圖像識別模型,該模型能夠檢測和讀取來自光掩碼或基板的各種標記和字母數字字符。此功能可確保在整個處理周期中獲得準確的結果。OPTORUN OTFG-1300專為易於使用而設計,具有直觀的圖形用戶界面菜單。此接口可方便地對各個流程步驟進行編程,而對設置的要求最低。一個可選的軟件包可以用來允許設備的遠程操作,稱為ALTAIR軟件包。此軟件允許在單個連接的位置管理多個系統,使其成為需要同時管理許多系統的設施的理想選擇。該系統還需要最低限度的維護,因為它設計有一個集成的自我調節清潔單元,有助於保持光學元件的表面清潔。這臺機器避免了手動擦拭光學器件的需要,有助於減少由於維護而導致的停機時間。最後,OTFG-1300設計方便地集成到現有的光刻過程中.它是為接受各種標準和專門的光刻膠而設計的,使其成為需要提供精密處理選項的設施的理想選擇。OPTORUN OTFG-1300重量僅為130公斤,也是市場上重量最輕的系統之一。總體而言,OTFG-1300是一種高效、可靠、易於使用的光刻工具,是先進光刻工藝的理想選擇。
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