二手 OPTORUN OWLS-1800DV2H #293753765 待售
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ID: 293753765
Optical sputter coater system
Vacuum сhamber
Base plate fixture size: Ф 375 mm x 5 mm
Base plate rotating speed: 10-100 RPM
Target size: Ф 142 x H 630 Ti
(2) ICP Reaction sources with RF Power supply: 5 kW
Transmission system: Double-arm vacuum mechanical arm
Cathode power supply:
(2) Bipolar MF Power supplies: 24 kW
(2) High pulse power supplies: 20 kW
Part number: OWLS-1800DV2H.
OPTORUN OWLS-1800DV2H是專門為半導體行業的高精度光刻應用而設計的尖端光刻設備。這套先進的系統將最先進的技術與卓越的工程技術相結合,為生產具有納米特性的半導體器件提供無與倫比的性能和可靠性。OWLS-1800DV2H單元的核心是其精密的光學光刻技術,它能夠對矽晶片上的光刻材料進行精確的制圖。該機配備了高分辨率的曝光工具,利用先進的光學和激光技術,實現極精細的分辨率和出色的模式保真度。這種精度水平對於制造具有密集堆積特征和復雜幾何形狀的先進半導體器件至關重要。OPTORUN OWLS-1800DV2H具有雙級對齊資產,可確保多層模式之間的精確叠加對齊。這種能力對於用於制造復雜半導體器件(如內存芯片、處理器和傳感器)的多層光刻工藝至關重要。該模型具有先進的對齊算法和實時監控功能,能夠快速可靠地對齊不同的層,從而提高設備產量並提高制造效率。除了其尖端的光刻能力外,OWLS-1800DV2H設備還配備了一套全面的工藝控制和監控功能。這些功能包括自動聚焦和曝光控制、高級晶圓映射和分析工具以及實時過程參數監控。這些功能允許操作員優化光刻工藝,及早識別潛在問題,並進行實時調整,以確保一致和高質量的結果。OPTORUN OWLS-1800DV2H系統是為高批量生產環境而設計的,其中可靠性、吞吐量和產量至關重要。該裝置是為連續運行而設計的,具有堅固的結構,能夠承受全天候制造作業的嚴酷。它采用模塊化設計,便於維護和升級,確保半導體制造商的最高正常運行時間和生產率。OWLS-1800DV2H臺機器的主要特點包括:1.高分辨率光刻技術,用於光刻材料的精確制圖。2.用於多層精確叠加對齊的雙級對齊工具。3.全面的工藝控制和監控功能,以達到最佳的光刻性能.4.自動化聚焦和曝光控制,以實現一致和可重復的結果。5.堅固的結構和模塊化設計,可靠性高,維護方便.總之,OPTORUN OWLS-1800DV2H是一種最先進的光刻資產,體現了半導體制造光刻技術的最新進展。OWLS-1800DV2H具有先進的功能、卓越的性能和可靠的操作,是尋求在光刻工藝中達到最高精度、質量和生產率水平的半導體制造商的理想解決方案。
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